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Le coeur de métier de Kloé est lié à la miniaturisation et à l'intégration optique et de ce fait à la lithographie haute résolution.
Depuis une dizaine d'années, Kloé a développé plusieurs générations d'équipements de photolithographie par laser de très haute résolution, d'abord pour ses activités internes de R&D, puis pour la fabrication et la production de ses composants optiques intégrés.
Aujourd'hui, Kloé détient le record mondial de facteur de forme (> 15) de motifs réalisés par lithographie laser ; ce record est lié à la profondeur de champ optique exceptionnelle résultant de la mise en forme spécifique du faisceau laser assuré dans le "tube optique" des équipements Dilase.
Les équipements Dilase se déclinent en 3 gammes :
- Dilase 250 : équipement d'écriture laser "Tabletop"
Cet équipement d'entrée de gamme vous offre la possibilité de photolithographier des motifs à partir d'une taille de faisceau UV constante à choisir dans la gamme 2µm/100µm, avec un rapport de forme minimal de 15, sur des substrats pouvant aller jusqu'à 4 pouces de diamètre.
- Dilase 650 : système de lithographie par laser de haute résolution
Cet équipement vous offre la possibilité de photolithographier des motifs avec des tailles (jusqu'à 2 différentes) de faisceau UV à choisir dans la gamme 1µm/100µm, avec un rapport de forme minimal de 15, sur des substrats pouvant aller jusqu'à 6 pouces de diamètre.
- Dilase 750 : système de lithographie par laser haut de gamme et entièrement modulable (voir la vidéo)
Cet équipement de très haut de gamme est réalisé sur vos propres spécifications, il vous offre une capacité de photolithographier des motifs avec des tailles (jusqu'à 3 différentes) de faisceau UV à choisir dans la gamme 0.5µm/100µm, avec un rapport de forme toujours important, sur une surface de travail à définir (400mm x 400mm, 12 pouces de diamètre, ...)
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